クリーンルーム室内図

 

利用申し込み書(クリックして下さい)

 

利用テーマ

 

1 先端科学イノベーションセンター 未来材料研究室 河村裕一

  「化合物半導体を用いた高性能赤外デバイスの研究」

2 先端科学イノベーションセンター 未来材料研究室 森本恵造

  「窒化物半導体を用いた短波長サブバンド間遷移発光の研究」

3 工学部 化学工学 津久井茂樹

  「太陽エネルギーを利用する光触媒,太陽電池,熱電変換素子の薄膜化」

  「 水素エネルギーを利用する燃料電池,水素吸蔵合金の薄膜化」

4 先端科学イノベーションセンター 複合ナノデバイス技術研究室 泉勝俊

  「光―電子融合デバイスの研究」

5 総合教育研究機構 物理教室 上浦良友

  「超LSI用半導体材料の表面物性 」

6 工学部 機能物質科学科 忠永晴治

  「ゾルーゲル法による無機酸化物薄膜の作製」

7 生命環境科学部 応用生物化学科 新田康則

  「昆虫細胞増殖系を用いたアミラーゼの蛋白工学的研究」

8 工学部 電子物理学科 平井義彦

  「マイクロマシン作製 」

9 工学部 電子物理学科 川田博昭

  「マイクロマシン用微細パターンの作製」

10 工学部 化学工学 足立元明

  「TEOS/Ozone減圧CVD における膜形成の高速化」

11 工学部 電子物理学科 藤村紀文

  「半導体と強誘電体の接合を用いた新規なトランジスタの作成」

  「希薄磁性半導体における電界スピン制御」

12 工学部 応用科学科 安保正一、竹内雅人

  「酸化チタン薄膜光触媒の親水化特性評価」

13 生命環境科学部 応用生物化学科 北村進一

  「生体高分子のナノ分子工学」

14 工学部 電子物理学科 石田武和、川又修一

  「超伝導体ナノファブリケーションによる新奇物性と応用」

15 先端科学イノベーションセンター

 分子情報機能材料研究室 長岡勉 椎木弘

  「金ナノ粒子を用いた高感度センサの開発」

16 理学部 分子科学科 杉本豊成

  「リン脂質で修飾したシリコンウエハー電極を

   用いる分子伝導体ナノワイヤーの作製」

17 工学部 マテリアル工学科  松井利之

  「強磁性秩序をもつ酸化物誘電体単結晶薄膜の

   合成と機能特性」

18 工学部 化学工学 齋藤丈

 「強誘電体デバイスの信頼性を向上させるために各素子の改善を進める研究」

19 工学部 電子物理 内藤裕義、永瀬隆

 「有機EL薄膜の研究」

20 ナノ科学・材料研究センター 四谷 任

 「科学技術振興調整費プログラム」

21 ナノ科学・材料研究センター 西野智昭

 「STMを用いたキラル分子のカイラリティー選別検出」

22 ナノ科学・材料研究センター 高橋和

  「フォトニック結晶シリコン光素子に関する研究」

23 ナノ科学・材料研究センター 戸川欣彦

 「電子顕微鏡を用いたスピントロニクス、磁束量子観測」

 

クリーンルーム設置装置

 

クラス1000
FIB装置 日立ハイテクノロジー FB-2100       石田(工学部 2282)
イオンミリング装置   石田(工学部 2282)

ナノサーチ顕微鏡 オリンパス ALS3500  石田(工学部 2282)
レーザ膜製造装置 日本真空 ULP-1000  津久井(材料物性3628)
有機金属気相成長装置 EMC  森本(未来材料3572)
高真空蒸着装置 日本真空 EX-200  森本(未来材料3572)
超高真空蒸着装置 コスモトロン CT-2000  井上(未来材料3574)
スパッタリング装置 バキュームプロダクツ SF-100  森本(未来材料3572)
真空蒸着装置 富士理研 FVS-400S  河村(未来材料3573)
光スペクトラム・アナライザ アドバンテスト  Q8381A  森本(未来材料3572)
アニール炉 京都タカオシン製 THC−1型  森本(未来材料3572)
SIC薄膜製造装置 泉(複合ナノデバイス 3577

GaN薄膜製造装置 泉(複合ナノデバイス 3577


クラス100

分子線成長装置 エピクエスト  RC-2100  河村(未来材料3573)

クラス10


EB描画装置  エリオニクス ELS-7500EXI   四谷(3695)
マスクアライナー SUSS  MJB4                  四谷(3695)
マスクアライナー ミカサ M-2Li  河村(未来材料3573)
ウェッジボンダー マーペットエンタープライズ社 MEI 1204W-JA  河村(未来材料3573)
プラズマリアクター ヤマト科学 PR31  河村(未来材料3573)
表面段差計 日本真空 DEKTAK3ST  森本 (未来材料3572)
セミコンダクターワークベンチ ソニーテクトロ 372型  河村(未来材料3573)